產地青島
尺寸可定做
工程類型恒溫恒濕車間
可售賣地全國
顏色客戶自選
安裝上門安裝
加工定制是
恒溫恒濕凈化車間溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜**過25度。
濕度過高產生的問題更多。相對濕度**過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度**30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45%。
凈化工程恒溫恒濕解決方案,大部分凈化廠房尤其電子工業用的潔凈廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求,不僅對廠房內的溫、濕度有嚴格的要求,而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。因此,在凈化空調系統的空氣處理上要采取相應的措施,例如:夏季要降溫、去濕(因為夏季室外空氣是高溫、高濕的),冬季要加熱加濕(因為冬季室外空氣是寒冷干燥的,室內濕度過低會產生靜電,靜電對電子產品的生產是致命的)。
問題來了為什么要求恒溫恒濕
凈化車間空調是溫濕度控制的心臟,要求精度高,故障率低。所以必須要求空調能調節制冷量,市面上已有兩種方式:一種是變頻調節;另一種是冷凍水調節方式。凈化車間的溫濕度在滿足加工工藝的條件下,應該考慮人舒不舒服。
隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。24um線性膨脹,所以必須有±0。1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜**過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度**過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。然而對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)**外部的壓力(靜壓)。
壓力差的維持一般應符合以下原則:
1、潔凈度級別高的空間的壓力要**相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
2、相通凈化車間之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
3、潔凈空間的壓力要**非潔凈空間的壓力。 壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過凈化車間的各種縫隙時的阻力。
對于亂流凈化車間由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求:
1、送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減較快,擴散角度較大。
2、吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我國,《空氣潔凈技術措施》和<潔凈廠房設計規范))都是這樣規定的垂直平行流(層流)凈化車間≥0。25m/s;水平平行流(層流)凈化車間≥0。35m/s。
我們做恒溫恒濕車間的優勢在哪里呢?下面我們來看一下它的工藝結構:
一、外觀材質工藝結構
1.機臺全部采用SUS#304 1.0-3.0mm厚的不銹鋼板制成,內外各個部分均不使用烤漆,確保各個工藝以及材質的好壞能直觀且清晰明了,氣密材料采用日制高張力Parking耐溫-90 至280度C。的造型設計:圓弧造型及表面噴塑處理,高質感外觀,并采用平面無反作用把手,操作容易,安全可靠。明亮,視野寬廣的大型觀察窗:采用三層真空鍍膜視窗和飛利浦節能熒光燈,無須雨刷除霧,保持清晰的觀測效果,可隨時觀察試品的狀況
二、電路部份
1.采用液晶TM880中英文彩屏觸摸控制器。
2.控制方式采用PID+SSR+(增加之觸發次數),控制較快捷,較。
3.利用I/0板集成控制,使電路清晰,簡捷,易于維修。
4.各電路元件均使用閩臺東元及OMRON等。加濕系統管路與控制電路分離:加濕系統管路與電源、控制器、電路板分離,可避免因管路漏水而影響電路,提高安全性。
三、冷凍部份
1.采用法國泰康的全封閉式壓縮機,組成立的冷凍系統,安全、可靠、平衡、省電且延長使用壽命。
2.冷媒流量可自動控制,采用復疊式制冷原理,降溫速率快,能允許負載熱量250%以上。
3.采用R404a、R23等美國杜邦環保冷媒??煽康睦鋬黾翱刂葡到y:原裝進口全封閉壓縮機,進口環保冷媒,世界的冷凍器件,原裝進口LCD觸摸屏控制器,界面友好,操作簡單易學。
四.水路部分
1.采用連通器原理,能自動補給水,保證各部位水量的持續供給,并能節約用水。
五.安全保護設計
1.系統保險絲保護。
2.無熔絲保護開關。
3.**溫、斷水過熱保護開關。
4.冷凍機過負載保護。
5.系統過電流保護
6.故障警示
7.控制器設定錯誤警示。
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