產地青島
尺寸可定做
工程類型恒溫恒濕車間
可售賣地全國
顏色客戶自選
安裝上門安裝
加工定制是
質量體系審核工作順利通過決定一切，意味著公司在加強內部規范化管理，增強服務意識，提高產品質量上具備了較加科學規范的管理體系**?！鄭u潔凈凈化技術有限公司。
問題來了為什么要求恒溫恒濕
凈化車間空調是溫濕度控制的心臟，要求精度高，故障率低。所以必須要求空調能調節制冷量，市面上已有兩種方式：一種是變頻調節；另一種是冷凍水調節方式。凈化車間的溫濕度在滿足加工工藝的條件下，應該考慮人舒不舒服。
隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。24um線性膨脹，所以必須有±0。1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜**過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度**過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。然而對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力(靜壓)**外部的壓力(靜壓)。
壓力差的維持一般應符合以下原則：
1、潔凈度級別高的空間的壓力要**相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
2、相通凈化車間之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
3、潔凈空間的壓力要**非潔凈空間的壓力。 壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過凈化車間的各種縫隙時的阻力。
對于亂流凈化車間由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度，所以主要用換氣次數這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內氣流速度也有如下要求：
1、送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減較快，擴散角度較大。
2、吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我國，《空氣潔凈技術措施》和<潔凈廠房設計規范))都是這樣規定的垂直平行流(層流)凈化車間≥0。25m/s;水平平行流(層流)凈化車間≥0。35m/s。
恒溫恒濕凈化車間溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜**過25度。
濕度過高產生的問題更多。相對濕度**過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度**30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45%。
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